物理学に基づく計算露光モデルが半導体製造を革新——LithoDreamerの可能性とは？
LithoDreamer: 計算露光技術における物理学に基づいた世界モデル
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物理学に基づいた世界モデル「LithoDreamer」が露光プロセスの多段階性に対応し、半導体製造技術を革新
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