物理学に基づく計算露光モデルが半導体製造を革新——LithoDreamerの可能性とは?
LithoDreamer: 計算露光技術における物理学に基づいた世界モデル
査読前の可能性がある研究情報
物理学に基づいた世界モデル「LithoDreamer」が露光プロセスの多段階性に対応し、半導体製造技術を革新
速報・AI要約未精査
arXiv cs.AI
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